友思特 晶圆边缘曝光紫外UVLED光源方案 基于环保型 ALE/1和 ALE/3 UV LED光源，为晶圆制造带来更高的精确度和质量保障。该方案提供>95%的均匀性，确保每一次曝光都精准同步。功率强大，高达17W，且可以实现精确控制，长期保持稳定。配置灵活，提供单波长和混合波长选择，满足各类光刻胶需求。

友思特UVLED紫外 半导体光刻光源解决方案 提供稳定且超高功率的UV辐射输出，最高输出功率可达80W，具有长寿命和成本优势，无需额外冷却时间，即开即用，与准直直泛光曝光光学器件相结合，不仅是将传统掩模对准器灯箱升级到UV-LED技术的多功能和灵活的选择，满足汽车、电子、制药等不同固化材料、照射面积与应用场景的需求。