友思特 紫外光源系列

友思特为您带来紫外点光源和紫外曝光光源产品,满足高效、先进、快捷、方便、一流的工业制造与紫外曝光需求。先进的无汞设计保证了工业检测的未来可持续,且能有效结合汞灯的辐射功率、光谱特性和 LED 工艺稳定性的优势。

光纤耦合紫外点光源,能够精确提供最适合您的UV固化应用的光谱成分。高功率的紫外输出在处理厚层感光粘合剂和涂层时有其优势,可以更深入地渗透到材料中,以实现一致和完全的固化,提升工作速率。

先进的紫外曝光系统,能在单光谱和多光谱配置中提供高功率性能,提供与汞放电灯相似的光谱输出,将原有光刻工艺升级到 UVLED 曝光时,可最大化减少调整步骤。这种高功率的紫外输出能降低使用成本和维修频率,增加工作吞吐量。

友思特高功率紫外点光源和紫外曝光光源系统可广泛应用于光刻工具中的紫外曝光(掩模对准器、晶圆步进器、晶圆边缘曝光)、光掩模和标线检查、汽车/电子/医疗/光学制造中的精密紫外点固化、高度均匀的曝光、无损检测、生命科学等应用。

|产品概览

友思特 ALE/1 紫外点光源

  • 高功率输出

    友思特 ALE/1 紫外点光源可提供高达 30W 光输出,光强度最高可达 95,000 mW/cm²。采用模块化平台概念,ALE/1 能够在光路中组合多达5个高性能 LED。

  • 无汞设计,未来可持续

    友思特紫外点光源采用无汞设计,同时结合了汞放电灯的辐射功率和光谱特性,以及 LED 技术的工艺稳定性优势。基于模块化的平台,实现了光谱组成的高度灵活性和定制化。

  • 光刻曝光与紫外固化等应用

    光刻工具中的UV曝光(掩模对准器、晶圆步进器、晶圆边缘曝光)、光掩模和标线检查、汽车/电子/医疗/光学制造中的精密紫外点固化、高度均匀的曝光、无损检测(NDT)、生命科学等应用。

友思特 ALE/3 紫外点光源

  • 多种波长的固化模式

    为了产生完全固化的粘合层和完美的表面,您可以使用友思特 ALE/3 的多种波长的固化模式,在较高波段进行曝光,并在高强度较低波段完成固化。

  • 高功率与稳定性

    友思特 ALE/3 紫外点光源可提供高达 15W 光输出,具备LED工业稳定性和TCO优势,同时易于集成到新的和现有设置中。

  • UV固化应用中完美替代200W汞灯

    友思特 ALE/3 凭借其灵活的固化模式,可在UV固化应用中完美替代200W汞灯,也适用于大批量生产中的点固化、晶圆边界曝光 (WEE)、无损检测 (NDT)、医疗科技照明等应用。

友思特 ALE/1C 紫外曝光系统

  • 替代高功率汞灯的输出性能

    友思特 ALE/1C 曝光光源最多可组合3个UV-LED发射器,提供 350-450 nm 范围内的窄带和宽带紫外辐射输出。总输出功率高达 40 W ,搭配外部冷却器时输出功率高达 50 W,完全可替代高功率汞灯。

  • 分布式设计配置

    ALE/1C 光源系统遵循分布式设计方法,通常由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成,结构非常紧凑,适合于工业集成。

  • 紫外曝光等丰富应用

    友思特 ALE/1C 紫外曝光光源系统可应用于 4〃、6〃和8〃晶圆的掩模对准器、1X晶圆步进器和微型步进器、高均匀精度曝光等领域。

友思特 ALE/2 紫外曝光系统

  • 替代超高功率汞灯的LED光源

    ALE/2 曝光光源遵循分布式设计方法,通常由一个控制子系统 (CSS) 和一个单独的曝光子系统 (ESS) 组成,ESS可直接接入到曝光系统中。

  • 分布式设计配置

    ALE/1C 光源系统遵循分布式设计方法,通常由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成,结构非常紧凑,适合于工业集成。

  • 紫外曝光等丰富应用

    友思特 ALE/2 紫外曝光光源系统可应用于 8〃和 12〃晶圆的掩模对准器、大基板光刻工具、高均匀精度曝光等领域。

|应用场景

半导光刻UV曝光

半导体制造过程中掩模对准器、晶圆步进器、晶圆边缘曝光。

光学镜头粘接

多个透镜/平面镜的光学表面用光学胶或光胶按照一定技术要求黏结成为光学部件。

汽车涂层固化

采用紫外光源多波段模块快速固化汽车车身涂层。

医疗器械粘接

使用UV光源快速固化医用导管等医疗器械的UV胶水,保证对材料无损伤。

|解决方案

友思特提供用于光刻领域的高功率紫外光源解决方案,利用高功率紫外 UV-LED 光源与准直直泛光曝光光学器件相结合,将传统掩模对准器灯箱升级到多功能和灵活的 UV-LED 技术,为改造传统的紫外线曝光生产工具或设计新的工具提供新便利。

半导体光刻光源解决方案

|可选高性能光学配件

液体光导

提供多种直径
提供单极/多极光导

均质聚光管

可用于正方形/矩形/六边形曝光
可增加出光均匀性

大面积聚光元件

附件透镜系统
为大型设备量身定制

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作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商,友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务,旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务,请联系我们!

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