BOS 反射物镜

专为需要无色差、宽光谱覆盖及长工作距离的精密显微与光束传输应用而设计

友思特合作伙伴 Beck 是全球为数不多设计和制造反射物镜的公司之一，该产品基于1904年诞生的两镜反射系统设计，以C.R. Burch 1947年的光学理论为基础，通过精确选择反射镜曲率与间距，实现对球面像差、彗差和像散的校正，达到衍射受限的成像性能。

与传统的折射式物镜不同，反射物镜的光线不通过镜片折射，而是在镀金属膜的镜面表面直接反射。基于这一全反射原理，BOS反射物镜在紫外到远红外的宽谱段内均保持高通量，从根本上消除了轴向与横向色差。

BOS反射物镜提供六种标准型号，并支持完全定制。产品广泛应用于传统显微镜、光束传输系统、双波长激光对准、FT-IR光谱、紫外计量、半导体晶圆检测、光刻、薄膜测量、激光钻孔蚀刻、热成像显微等领域。尤其在需要同时操作可见光与IR/UV激光的双波长场景中，其无色差特性优势尤为突出。

BOS | 反射物镜

Product introduction

产品介绍

Core advantages

核心优势

Application scenarios

应用场景

Technology introduction

技术介绍

Technology data

技术参数

Technical Resource

技术资源

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BOS反射物镜合作伙伴及客户

为什么选择友思特 BOS 反射物镜？

以全天候高清视觉，重塑驾驶安全新基线

彻底消除色差，突破折射极限： 全反射设计从根本上根除轴向与横向色差，反射球面像差小于折射透镜，任意波长下成像清晰无色偏

衍射极限级成像品质： 基于Burch理论优化镜面曲率与间距，校正球差、彗差和像散，实现衍射受限成像，满足高分辨与精密聚焦需求

超宽光谱覆盖，一镜多用： 紫外至远红外高通量，标准镀铝膜覆盖190nm–10μm，金膜覆盖700nm–15μm。配以对应反射膜即可应用于任意谱段，无需更换物镜

长工作距离与大数值孔径兼得： 相比折射物镜，工作距离更长，便于样品放置与系统集成；同时大数值孔径提供强聚光能力，两项优势兼备

灵活的涂层定制 提供铝、金、银、DUV增强铝等多种膜层，并可针对特定波长或高功率应用定制涂层，以优化反射率和耐久性

结构简洁，易于扩展 反射系统结构简单，加工便捷，易于向大口径尺寸扩展，适合高端定制与大型系统集成

核心优势

Product advantages

与折射物镜相比完全无色差

光线在镜面反射而非玻璃中折射，从根本上消除轴向与横向色差，任意波长焦点一致

宽波谱范围，高通量

从紫外到远红外均保持高反射率与优异光通量，配以对应膜层即可覆盖任意谱段

小像差，衍射极限成像

通过优化双镜曲率与间距校正球差、彗差和像散，像差优于折射物镜，成像质量达衍射极限

大数值孔径，高聚光能力

大数值孔径带来更强的光收集效率，适用于弱信号或高速成像场景

相对放大倍率更长的工作距离

同等放大率下提供更大工作空间，便于样品放置及辅助元件集成

结构简洁，易于拓展，涂层可定制

反射系统设计简单，便于向大口径或定制化方向扩展；同时提供铝、金、银、DUV增强铝等多种膜层，可针对特定波长或高功率应用优化反射率

应用场景

Application scenarios

反射物镜

反射型物镜

长工作距离物镜

显微镜物镜

反射显微镜镜头

反射显微镜

反射式物镜

激光剥蚀系统

半导体晶圆检测物镜

显微光谱成像镜头

显微分光光度计

白光测厚仪镜头

传统显微镜和光束传输系统

反射物镜可广泛应用于传统的显微镜和光束传输系统。凭借独特的无色差性质，反射物镜在需要双波长操作的情况下表现得尤其出色，例如对准可见光束以使用 IR 或 UV 光束激光器。

半导体晶圆检测

BOS反射物镜可以用于实现高分辨率的缺陷和杂质检测，可以在晶圆上快速、精确地检测到微小的表面缺陷或杂质，有助于提高生产效率和产品质量。

激光剥蚀系统

友思特BOS反射物镜是Coherent Geolas激光烧蚀系统的标准镜头，标准显微镜接口，5003-1904型号可集成于激光烧蚀系统中的显微镜上，助力实验室科学研究。

其他应用场景

其他应用包括：FT-IR 显微镜、紫外计量与显微镜、光学显微镜、光刻、薄膜测量、激光光束传输系统、激光钻孔和蚀刻、产品打标、激光泵浦、热成像显微镜……

技术介绍

Technology introduction

反射物镜：激光剥蚀系统的标准镜头

LA-ICP-MS（激光烧蚀电感耦合等离子体质谱）是一种强大的分析技术，可直接对固体样品进行高灵敏度的元素和同位素分析。

LA-ICP-MS 系统的基本布局由脉冲激光源、光束传输光学器件、在大气压下操作的密闭采样池、传输管线和 ICP-MS 检测器组成。

聚焦激光与观察光斑通常利用集成于系统的光学显微镜来实现，通过光学物镜将激光聚焦于被测样品上，集成的显微镜物镜的选择对于聚焦效果至关重要。

光路：高性能光线聚焦

常规显微镜物镜采用的是折射式物镜，当光线通过显微镜时，物镜的折射式设计能让光学元件将光线折射或弯曲。

普通的光学镜片，紫外光在折射镜片中存在明显的衰减，这会对激光烧蚀的应用产生明显的影响。

而友思特BOS反射物镜，通过给镜片的表面镀金属膜，使得光线并不通过镜片折射，而是在表面直接反射，从而让光线传输或聚焦。

金属膜：替代/专业涂层

反射物镜常用的金属薄膜包括金膜、银膜、铝膜以及DUV铝膜，其对光谱范围的反射率各不相同，可根据使用的光谱范围选择。

针对于紫外范围的光(<300nm)，DUV铝膜具有较高的反射率，适合使用紫外波段激光作为烧蚀激光的LA-ICP-MS 系统。

在需要高功率的应用中，友思特向您提供替代涂层；对于专业应用，还可定制和提供其他专业涂料。

范围	反射率	涂层	后缀
250nm - 10μm	平均 89.0 %	铝膜	- 000
190nm - 10μm	＞89.0 %	DUV增强铝膜	-190
700nm - 15μm	98.0 %	金膜	-120

技术参数

Technology data

型号参数	5001-000	5002-000	5003-000	5004-000	5006-000	5007-000
放大倍数	x15	x15	x25	x36	x52	x74
数值孔径	0.28	0.50	0.40	0.50	0.65	0.65
焦距（mm）	13.35	13.41	8.00	5.41	3.55	2.54
可视场（mm）	1.20	1.20	0.72	0.50	0.34	0.24
光瞳遮蔽	25.0%	21.5%	22.5%	13.0%	17.5%	15.0%
工作距离（mm）	24.5	23.2	14.5	8.6	1.9	1.0
小镜面直径	7.30	13.40	6.30	5.60	4.60	3.35
用户调整管长度与玻盖片厚度	固定（出厂设置）	固定（出厂设置）	固定（出厂设置）	是	是	是
玻盖片厚度范围	0 - 3.0mm	0 - 3.0mm	0 - 3.0mm	0 - 1.0mm	0 - 1.0mm	0 - 1.0mm