友思特案例 | 隐秘而精湛:反射物镜用于激光烧蚀质谱系统
隐秘而精湛:无色差、小相差的友思特反射物镜可应用于任意的波谱范围,由此成为了LA-ICP-MS激光烧蚀系统的光束传输光学器件的不二之选。
BECK 高性能 反射物镜 ,具有无色差、长工作距离、大数值孔径、从紫外到远红外的高通量优势
以其独特的光学特性而闻名,友思特合作伙伴 Beck 是全球为数不多设计和制造反射物镜的公司之一
通过仔细选择反射镜曲率和它们之间的距离,可以针对球面像差、彗差和像散进行校正,从而导致衍射受限的成像性能
广泛应用于显微镜和光束传输系统,特别是多波长操作、激光剥蚀系统,在需要双波长操作的 情况下表现得尤其出色
反射物镜可广泛应用于传统的显微镜和光束传输系统。
凭借独特的无色差性质,反射物镜在需要双波长操作的情况下表现得
尤其出色,例如对准可见光束以使用 IR 或 UV 光束激光器。
友思特BOS反射物镜是Coherent Geolas激光烧蚀系统的标准镜头,
标准显微镜接口,5003-1904型号可集成于激光烧蚀系统中的显微镜上,
助力实验室科学研究。
BOS反射物镜可以用于实现高分辨率的缺陷和杂质检测,
可以在晶圆上快速、精确地检测到微小的表面缺陷或杂质,
有助于提高生产效率和产品质量。
BOS反射物镜应用广泛,在需要双波长操作的情况下表现得尤其出色,
例如对准可见光束以使用 IR 或 UV 光束激光器。
其他应用包括:FT-IR 显微镜、紫外计量与显微镜、光学显微镜、
光刻、薄膜测量、激光光束传输系统、激光钻孔和蚀刻、产品打标、
激光泵浦、热成像显微镜……
LA-ICP-MS(激光烧蚀电感耦合等离子体质谱)是一种强大的分析技术,可直接对固体样品进行高灵敏度的元素和同位素分析。
LA-ICP-MS 系统的基本布局由脉冲激光源、光束传输光学器件、在大气压下操作的密闭采样池、传输管线和 ICP-MS 检测器组成。
聚焦激光与观察光斑通常利用集成于系统的光学显微镜来实现,通过光学物镜将激光聚焦于被测样品上,集成的显微镜物镜的选择对于聚焦效果至关重要。
反射物镜常用的金属薄膜包括金膜、银膜、铝膜以及DUV铝膜,其对光谱范围的反射率各不相同,可根据使用的光谱范围选择。
针对于紫外范围的光(<300nm),DUV铝膜具有较高的反射率,适合使用紫外波段激光作为烧蚀激光的LA-ICP-MS 系统。
在需要高功率的应用中,友思特向您提供替代涂层;对于专业应用,还可定制和提供其他专业涂料。
范围 | 反射率 | 涂层 | 后缀 |
250nm - 10μm | 平均 89.0 % | 铝膜 | - 000 |
190nm - 10μm | >89.0 % | DUV增强铝膜 | -190 |
700nm - 15μm | 98.0 % | 金膜 | -120 |
常规显微镜物镜采用的是折射式物镜,当光线通过显微镜时,物镜的折射式设计能让光学元件将光线折射或弯曲。
普通的光学镜片,紫外光在折射镜片中存在明显的衰减,这会对激光烧蚀的应用产生明显的影响。
而友思特BOS反射物镜,通过给镜片的表面镀金属膜,使得光线并不通过镜片折射,而是在表面直接反射,从而让光线传输或聚焦。
反射物镜有六种标准型号,可根据需要完全定制。所有反射物镜均符合 RoHS 指令 2002/95/EC、2011/65/EU 和 205/863 的要求。
友思特BOS反射物镜是 Coherent Geolas 激光烧蚀系统标准镜头,标准显微镜接口。5003-1904型号可集成于激光烧蚀系统中的显微镜,助力实验科研。
型号参数 | 5001-000 | 5002-000 | 5003-000 | 5004-000 | 5006-000 | 5007-000 |
放大倍数 | x15 | x15 | x25 | x36 | x52 | x74 |
数值孔径 | 0.28 | 0.50 | 0.40 | 0.50 | 0.65 | 0.65 |
焦距(mm) | 13.35 | 13.41 | 8.00 | 5.41 | 3.55 | 2.54 |
可视场(mm) | 1.20 | 1.20 | 0.72 | 0.50 | 0.34 | 0.24 |
光瞳遮蔽 | 25.0% | 21.5% | 22.5% | 13.0% | 17.5% | 15.0% |
工作距离(mm) | 24.5 | 23.2 | 14.5 | 8.6 | 1.9 | 1.0 |
小镜面直径 | 7.30 | 13.40 | 6.30 | 5.60 | 4.60 | 3.35 |
用户调整管长度与玻盖片厚度 | 固定(出厂设置) | 固定(出厂设置) | 固定(出厂设置) | 是 | 是 | 是 |
玻盖片厚度范围 | 0 - 3.0mm | 0 - 3.0mm | 0 - 3.0mm | 0 - 1.0mm | 0 - 1.0mm | 0 - 1.0mm |
隐秘而精湛:无色差、小相差的友思特反射物镜可应用于任意的波谱范围,由此成为了LA-ICP-MS激光烧蚀系统的光束传输光学器件的不二之选。
专业技术团队为您服务:拥有多年机器视觉与光电检测经验,定制多个丰富成熟的落地项目
作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商,友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务,旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务,请联系我们!
按需进行样品测试与效果评估验证
全方位覆盖硬件产品使用的各环节
帮助您迅速掌握软件使用技巧
根据您的需求制定完整集成解决方案
全自动波长选择器
提供对波长和带宽的简单软件控制
全自动波长选择器
带宽标称值固定在 20 nm左右
手动波长选择器
具有手动可调滤光片和三个滚花旋钮
便携式且易于使用的智能光谱仪
轻巧便携,高性价比,用途广泛
产品配套技术支持与付费服务,为您驱动项目无限可能
标准物镜配置会在友思特BOS反射物镜以外搭配一个 3 蜘蛛腿架(标配,用于支撑次镜),可最大限度地减少衍射,但会产生六向光晕图案。
您可以选用4 蜘蛛腿架,将光晕图案减少到 4 向,虽然会产生更多衍射,但一些用户会偏向于这种设置。 订购时如需 4 蜘蛛腿架,请在部件号中添加后缀“4” 。
显微镜的目镜物平面直径为18mm,除以反射物镜的放大倍数,即可得到反射物镜的视场数值。
如果背面反射在您的应用中可能存在问题,我们可以在次镜(较小的)中磨出一个亚光黑色凹坑。
您需要先确定激光波段、光斑形状和光斑直径。这个参数主要与镜头的NA有关,NA越大其能量传输效率越高,遮蔽也会有影响,但没有NA重要。目前计算过的 1064 nm CW,高斯光斑 3 – 4 mm,Au膜,其能量传输效率约为 40%。
请将后缀 -D 添加到部件号。如果您需要通过次镜的间隙孔,请联系我们讨论可用选项。
信任来自日积月累的专业知识和丰富经验