友思特 BOS反射物镜

BECK 高性能 反射物镜 ,具有无色差、长工作距离、大数值孔径、从紫外到远红外的高通量优势

以其独特的光学特性而闻名,友思特合作伙伴 Beck 是全球为数不多设计和制造反射物镜的公司之一

通过仔细选择反射镜曲率和它们之间的距离,可以针对球面像差、彗差和像散进行校正,从而导致衍射受限的成像性能

广泛应用于显微镜和光束传输系统,特别是多波长操作、激光剥蚀系统,在需要双波长操作的 情况下表现得尤其出色

BOS 反射物镜

友思特BOS反射物镜通过给镜片的表面镀金属膜,使得光纤并不通过镜片折射,而是在表面直接反射,从而让光线传输或聚焦。基于这一原理,反射物镜具备以下的特征和优势:

  • 无色差,既没有轴向色差也没有横向色差
  • 可矫正球面像差、彗差和像散
  • 反射球面产生的像差要小于折射透镜产生的像差
  • 可用于提高特定波长区域性能的涂层
  • 相对于放大倍率更长的工作距离
  • 大数值孔径可提高聚光能力
  • 该波段有对应的反射膜时,可以应用于任意的波谱范围
  • 从紫外到远红外的高通量
  • 反射成像系统结构简单,容易加工制作,易于扩展到大口径尺寸

传统显微镜和光束传输系统

反射物镜可广泛应用于传统的显微镜和光束传输系统。

凭借独特的无色差性质,反射物镜在需要双波长操作的情况下表现得

尤其出色,例如对准可见光束以使用 IR 或 UV 光束激光器。

激光剥蚀系统

友思特BOS反射物镜是Coherent Geolas激光烧蚀系统的标准镜头,

标准显微镜接口,5003-1904型号可集成于激光烧蚀系统中的显微镜上,

助力实验室科学研究。

半导体晶圆检测

BOS反射物镜可以用于实现高分辨率的缺陷和杂质检测,

可以在晶圆上快速、精确地检测到微小的表面缺陷或杂质,

有助于提高生产效率和产品质量。

其他应用场景

BOS反射物镜应用广泛,在需要双波长操作的情况下表现得尤其出色,

例如对准可见光束以使用 IR 或 UV 光束激光器。

其他应用包括:FT-IR 显微镜、紫外计量与显微镜、光学显微镜、

光刻、薄膜测量、激光光束传输系统、激光钻孔和蚀刻、产品打标、

激光泵浦、热成像显微镜……

反射物镜 产品优势特点

BOS 反射物镜 与折射物镜相比完全无色差 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 小像差 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 大数值孔径可提高聚光能力 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 相对于放大倍率更长的工作距离 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 宽波谱范围 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 从紫外到远红外的高通量 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 高性能 - 友思特 viewsitec
BOS 反射物镜 可用于提高特定波长区域性能的涂层 - 友思特 viewsitec

反射物镜 :激光剥蚀系统的标准镜头

LA-ICP-MS(激光烧蚀电感耦合等离子体质谱)是一种强大的分析技术,可直接对固体样品进行高灵敏度的元素和同位素分析。
LA-ICP-MS 系统的基本布局由脉冲激光源、光束传输光学器件、在大气压下操作的密闭采样池、传输管线和 ICP-MS 检测器组成。
聚焦激光与观察光斑通常利用集成于系统的光学显微镜来实现,通过光学物镜将激光聚焦于被测样品上,集成的显微镜物镜的选择对于聚焦效果至关重要。

BOS 反射物镜 激光剥蚀系统 应用 - 友思特 viewsitec

反射物镜 的金属膜:替代/专业涂层

反射物镜常用的金属薄膜包括金膜、银膜、铝膜以及DUV铝膜,其对光谱范围的反射率各不相同,可根据使用的光谱范围选择。
针对于紫外范围的光(<300nm),DUV铝膜具有较高的反射率,适合使用紫外波段激光作为烧蚀激光的LA-ICP-MS 系统。
在需要高功率的应用中,友思特向您提供替代涂层;对于专业应用,还可定制和提供其他专业涂料。

范围

反射率

涂层

后缀

250nm - 10μm

平均 89.0 %

铝膜

- 000

190nm - 10μm

>89.0 %

DUV增强铝膜

-190

700nm - 15μm

98.0 %

金膜

-120

BOS 反射物镜 专业涂层 应用 - 友思特 viewsitec

反射物镜 光路:高性能光线聚焦

常规显微镜物镜采用的是折射式物镜,当光线通过显微镜时,物镜的折射式设计能让光学元件将光线折射或弯曲。
普通的光学镜片,紫外光在折射镜片中存在明显的衰减,这会对激光烧蚀的应用产生明显的影响。
而友思特BOS反射物镜,通过给镜片的表面镀金属膜,使得光线并不通过镜片折射,而是在表面直接反射,从而让光线传输或聚焦。

BOS 反射物镜 高性能光路聚焦 - 友思特 viewsitec

参数信息:完全可定制

反射物镜有六种标准型号,可根据需要完全定制。所有反射物镜均符合 RoHS 指令 2002/95/EC、2011/65/EU 和 205/863 的要求。
友思特BOS反射物镜是 Coherent Geolas 激光烧蚀系统标准镜头,标准显微镜接口。5003-1904型号可集成于激光烧蚀系统中的显微镜,助力实验科研。

型号参数

5001-000

5002-000

5003-000

5004-000

5006-000

5007-000

放大倍数

x15

x15

x25

x36

x52

x74

数值孔径

0.28

0.50

0.40

0.50

0.65

0.65

焦距(mm)

13.35

13.41

8.00

5.41

3.55

2.54

可视场(mm)

1.20

1.20

0.72

0.50

0.34

0.24

光瞳遮蔽

25.0%

21.5%

22.5%

13.0%

17.5%

15.0%

工作距离(mm)

24.5

23.2

14.5

8.6

1.9

1.0

小镜面直径

7.30

13.40

6.30

5.60

4.60

3.35

用户调整管长度与玻盖片厚度

固定(出厂设置)

固定(出厂设置)

固定(出厂设置)

玻盖片厚度范围

0 - 3.0mm

0 - 3.0mm

0 - 3.0mm

0 - 1.0mm

0 - 1.0mm

0 - 1.0mm

技术文章

技术支持

专业技术团队为您服务:拥有多年机器视觉与光电检测经验,定制多个丰富成熟的落地项目

友思特专业技术支持,助您项目成功

作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商,友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务,旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务,请联系我们!

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硬件培训

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软件培训

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集成开发

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常见问题解答

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标准物镜配置会在友思特BOS反射物镜以外搭配一个 3 蜘蛛腿架(标配,用于支撑次镜),可最大限度地减少衍射,但会产生六向光晕图案。

您可以选用4 蜘蛛腿架,将光晕图案减少到 4 向,虽然会产生更多衍射,但一些用户会偏向于这种设置。 订购时如需 4 蜘蛛腿架,请在部件号中添加后缀“4” 。

显微镜的目镜物平面直径为18mm,除以反射物镜的放大倍数,即可得到反射物镜的视场数值。

如果背面反射在您的应用中可能存在问题,我们可以在次镜(较小的)中磨出一个亚光黑色凹坑。

您需要先确定激光波段、光斑形状和光斑直径。这个参数主要与镜头的NA有关,NA越大其能量传输效率越高,遮蔽也会有影响,但没有NA重要。目前计算过的 1064 nm CW,高斯光斑 3 – 4 mm,Au膜,其能量传输效率约为 40%。

请将后缀 -D 添加到部件号。如果您需要通过次镜的间隙孔,请联系我们讨论可用选项。

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