大型基板UVLED曝光系统

ALE/2 — UV-LED曝光系统

产品优势与特色

●内置解决方案可实现最大曝光效率和性能

●高达70W的i-line曝光(CWL 365 nm)

●高达80W的宽带曝光(350-450 nm)

●闭环控制光输出

●LED工艺稳定性和TCO优势

●无需外部冷却

●无汞!节能环保的LED光源

代替超高功率汞灯的LED光源

ALE/2曝光光源提供350-450nm范围内的窄带和宽带紫外辐射输出。

友思特 ALE/2 的窄带输出功率高达 70W ,宽带输出功率高达 80W 完全可替代高功率放电汞灯

分布式设计集成

ALE/2 曝光光源遵循分布式设计方法,通常由一个控制子系统 (CSS) 和一个单独的曝光子系统 (ESS) 组成,ESS可直接接入到曝光系统中。

控制子系统 (CSS)

  • 可用作 4U 19 英寸机架安装系统
  • 包括电源、冷却系统和外部接口

曝光子系统(ESS)

  • 创新的光学设计可直接集成到曝光设备中
  • 包括 i、h和 g线发射器,以及 LED 驱动器

基本参数信息

365 / 405 /436 nm

Radiation [W]

ALE/2

i-line   CWL 365 nm

Broadband   350 – 450 nm

标准模式

35

80

性能模式

38

90

汞弧灯

1,000 W

20

40

5,000 W

75

150

 

4 NUV-LEDs:365 nm

Radiation [W]

ALE/2

i-line   CWL 365 nm

标准模式

70

性能模式

80

汞弧灯

1,000 W

20

5,000 W

75


中心发射波长: 367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm, 402.5±2.5 nm, and 435.0±2.5 nm.

输出功率可能会有±10%误差.

系统参数与规格

发射波长选择

4 LEDs with CWL 365 nm,
385 nm, 405 nm, and 436 nm

数值孔径

标准聚光器下:NA 0.3 (2α ~35°)

输出控制

+ 单个LED电源管理和预设
+ 高分辨率强度调整(10-100%)
+ LED上升时间小于1毫秒
+ 连续监控光学输出和反馈控制

通信接口

+ 离散PLC接口(TTL)
+ USB(串行)
+ 以太网/Modbus(可选)

热管理

+ 带内部散热器的液体冷却
+ 可选热电冷却器(性能模式运行所需)

尺寸 (W H D)

ESS  21 × 21 × 36 cm   (8.3 × 8.3 × 14.2″)
CSS (Rack)  44 × 18 × 37 cm  (17.3 × 7.1 × 14.6″)

重量

ESS    4 kg   (9 lbs)
CSS (Rack)   10 kg    (22 lbs)

电源供应

110 - 240 VAC / 50 - 60 Hz / 1,500 W

类别

参数

备注

1

光源类型

LED

1064/532/355/266 nm

2

中心波长

365nm,385nm
405nm,435nm

367.5±2.5 nm, 387.5±2.5 nm,
402.5±2.5 nm, and 435.0±2.5 nm,
实际数据视新机出厂测试而定

3

FWHM

10-15nm

实际数据视新机出厂测试而定

4

光功率

单波长17-30W

5

光照面积

4"-12"

可根据具体需求定制

6

功率密度

25-150mW/cm2

视波长和面积而定

7

光照均匀性

≥97%

8

平行半角范围

≤3°

9

工作距离

100-400mm

可根据具体需求定制

10

冷却方式

液体冷却、热电冷却

11

工作寿命

曝光时间1000-30000小时

视具体使用情况而定,参考值:5000曝光小时-50mW/cm2-50%duty

发射波长选择

4 LEDs with CWL 365 nm,
385 nm, 405 nm, and 436 nm

数值孔径

标准聚光器下:NA 0.3 (2α ~35°)

输出控制

+ 单个LED电源管理和预设
+ 高分辨率强度调整(10-100%)
+ LED上升时间小于1毫秒
+ 连续监控光学输出和反馈控制

通信接口

+ 离散PLC接口(TTL)
+ USB(串行)
+ 以太网/Modbus(可选)

热管理

+ 带内部散热器的液体冷却
+ 可选热电冷却器(性能模式运行所需)

尺寸 (W H D)

ESS  21 × 21 × 36 cm   (8.3 × 8.3 × 14.2″)
CSS (Rack)  44 × 18 × 37 cm  (17.3 × 7.1 × 14.6″)

重量

ESS    4 kg   (9 lbs)
CSS (Rack)   10 kg    (22 lbs)

电源供应

110 – 240 VAC / 50 – 60 Hz / 1,500 W

UVLED解决方案

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