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友思特ALE 1光纤耦合UVLED

灵活且功能最强大的即用型 LED 点光源

友思特ALE 1光纤耦合UVLED

友思特光纤耦合UVLED光源ALE/1是灵活且功能最强大的即用型 LED 点光源。采用先进的无汞设计，结合了汞放电灯的辐射功率和光谱特性，以及 LED 技术的工艺优势，可实现高达 30W 的光输出。基于模块化的平台，能在光路中组合多达5个高性能 LED，实现光谱组成的高度灵活性和定制化。

高达30W的光输出
i, g, h 线UV窄带、宽带输出
无汞设计，未来可持续，环保
LED工艺稳定性
闭环控制输出
易于集成，无需外部冷却

晶圆光刻曝光

在半导体制造中，晶圆光刻曝光是一个关键步骤。
光纤耦合UVLED通过将紫外光束精准地投射到涂有光刻胶的晶圆表面，
形成所需的微细图案。

UVLED光源的高精度和稳定性使得这种曝光过程能够在

极小的尺度上实现精确控制，从而提高芯片制造的良率和效率

工业紫外固化

工业紫外固化利用光纤耦合UVLED提供的高强度紫外光

来快速固化涂层、胶水或其他材料。

这种方法的优势在于UVLED能够提供稳定且可控的光源，

使得固化过程快速且均匀，减少了能源消耗和生产时间，

同时提高了产品的质量和一致性

晶圆缺陷检测

在晶圆缺陷检测中，光纤耦合UVLED被用来照射晶圆表面，

以便检测微小的缺陷和不均匀性。

通过高分辨率的紫外成像技术，可以清晰地识别出晶圆表面的瑕疵，

这对于提高半导体产品的质量和可靠性至关重要

高功率紫外成像

高功率紫外成像利用光纤耦合UVLED提供的高强度紫外光来获取高分辨率的图像。

这种技术广泛应用于需要高清晰度成像的领域，如半导体检测、生物医学成像等。

UVLED的高功率输出和稳定性使其能够提供清晰的图像，帮助分析复杂的微观结构

产品优势特点

集成解决方案

晶圆边缘曝光紫外UVLED光源方案

基于友思特环保型 ALE/1和 ALE/3 UV LED光源，提高电子元器件制造的精确度，提供>95%的均匀性，确保每一次曝光都精准同步，为晶圆制造带来更高的精确度和质量保障。

半导体光刻光源解决方案

友思特 UVLED 紫外光源提供稳定且超高功率的UV辐射输出，具有单峰或双峰波长输出配置，最高输出功率可达 80 W，具有长寿命和成本优势，即开即用，取代了传统的灯箱结构，高效改造紫外光刻设备。

基于多通道高功率UVLED点光源的高效固化

友思特高功率UV-LED系列光源采用高透光率的光导设计，能够高效地将光线精准传递至目标位置，实现高效的整体固化效果。系统配备小型光学聚光元件，确保光线的准直和均匀性，满足精密固化需求。

模块化、一体化LED曝光系统

光纤耦合ALE 1需几分钟即可设置设备和所有内部 LED 模块。维护同样快速方便、无需特殊工具即可更换 LED 模块。
要根据需要调整输出、只需为任何已安装的 LED 模块以高分辨率单独设置所需的功率级别。
为实现超精确曝光、ALE/1 LED 光引擎可在不到一毫秒的时间内实现全光输出、并通过闭环反馈稳定所有 LED 模块以控制发射功率。
ALE/1 光引擎具有用于系统设置的直观触摸显示屏、并支持各种标准界面来操作该装置。
其中包括用于简单外部开关设备的去抖动输入、USB（串行)、离散 PLC 接口（TTL）以及以太网或 Modbus 通信。

内部测量与监控光学功率

ALE/1系统使您可连续内部监控LED模块发出的光辐射。通常情况下，LED输出在工作温度升高时（毫秒）和由于材料老化（小时）而降低，
内部反馈回路通过不断调整每个LED的电功率来校正这些输出变化该功能可显著提升过程安全性、因为可长时间稳定保持最初设定的系统输出功率。
考虑到LED的长使用寿寿、直接在应用区域定期检查发出的光辐射必不可少。

从高强度固化到精密紫外线光刻曝光：光导和光学元件介绍

ALE/1 UV-LED 光纤耦合光源输出

ALE/1 光引擎是一个平台、可在光路中容纳多达五个独立的高性能 LED。
按照您认为合适的方式组合 LED、以在广泛的输出光谱范围内获得更高的辐射功率水平。从广泛的选项中进行选择、以设计 ALE/1 光纤耦合光源的光谱组成。
光谱组成可选：
→  UV-LED （365、385、405、435 nm）
→  VIS-LED（470、520、620、660、690 nm)
→  NIR-LED （730、770、810、850、970 nm）
出光口可与 5.0 mm、 6.5 mm或 8.0 mm光导组合使用，以提高性能。

* 发射器的中心波长（CWL）：367.5±2.5 nm、387.5±2.5 nm、 402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm
LED的初始输出: 光导（1.5 m长）末端测得的各发射器全光谱；可能有±10%的偏差
直径6.5毫米的导光板，带防反射涂层 (“AR”)

此外，您可能想要组合任何其他类型的 UV、VIS 或 NIR 通道，可以参考下面的例子，是用于生命科学应用的版本

系统参数与规格

输出源	高达 5 个LEDS组合， 365 NM ~ 970 NM的输出
总输出功率	高达 30 W
光强度	高达 95,000 mW/cm2
数值孔径	0.60 / 70° (2α)
控制配置	●独立的 LED 电源管理和预设 ●精准强度调整 (20-100%) ●LED 上升时间 <1 毫秒 ●通过内部或外部信号连续监测光输出和反馈控制
交互界面	-触摸屏 -AUX：外部开关设备 -USB：ALE/远程（ALE PC 软件） -PLC：离散接口 -现场总线：根据客户要求（例如 CANopen）
温度控制	内部水冷
尺寸 (W H D)	28 cm X 23 cm X 40 cm (11.0″ X 9.1″ X 15.7″)
重量	15 kg (33 lbs)
电源输入	110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W
光导选择	-Active core Ø [mm]: 5.0, 6.5 and 8.0 -多头光纤可选 -标准长度：1.5 m; 定制长度 (1-15 m) 请咨询 -可根据要求提供定制端接头