友思特 ALE 3 光纤耦合UVLED
要求精度和可靠性的UV固化、光刻曝光、高功率工业紫外应用的首选
支持多种波长固化模式，可在较高波段进行曝光、高强度较低波段完成固化，形成完全固化的粘合层和完美的表面
高达15W光输出，具备LED工业稳定性和TCO优势，易于集成到新的和现有设置中，在UV固化应用中完美替代200W汞灯
有效应用于晶圆光刻曝光、工业紫外固化、晶圆缺陷检测、高功率紫外成像等场景
友思特ALE 3 光纤耦合UVLED
友思特光纤耦合UVLED光源ALE/3，是要求精度和可靠性的UV固化、光刻曝光、高功率工业紫外应用的首选，其功率输出水平可以达到或超过使用传统 200 W 汞放电灯或市面上流行 UV 光固化装置的规格。
ALE/3与久经考验的高透射率 LED 液态光导和具有匀光、聚焦效果的聚光镜相连，可在各种工业、实验室环境的设置中灵活地将窄带或宽带紫外线辐射准确地传送到需要的位置。
- 高达15 W的光学输出
- LED工业稳定性和TCO优势
- i, g, h 线UV窄带、宽带输出
- 无汞，环保安全的LED光源
- 易于集成到新的和现有设置中
- 可自主更换LED模块
- 零维护热电冷却
产品优势特点
集成解决方案
晶圆边缘曝光紫外UVLED光源方案
半导体光刻光源解决方案
基于多通道高功率UVLED点光源的高效固化
宽度UV固化
仅使用单波长UV进行固化的缺点是感光材料表面上的固化速度太快，可能会阻止辐射进一步传播到粘合层中，并阻止完全固化。
更长波长的紫外线渗透到紫外线粘合剂中更深，但无粘性表面通常需要365 nm左右的强辐射。
为了产生完全固化的粘合层和完美的表面，您可以使用多种波长的固化模式，在较高波段进行曝光，然后在高强度较低波段完成固化。
低维护 UV-LED 聚光灯解决方案
友思特ALE/3 系统是超紧凑的光导耦合 LED 光源、易于设置和操作，几乎不需要维护。
创新的内部热电热管理使安装的大功率 LED 模块保持凉爽、从而最大限度地延长使用寿命。ALE/3 LED 模块可现场更换，无需工具即可快速更换。友思特ALE/3 光引擎带有用于系统设置的直观触摸显示屏、并支持各种标准界面来操作设备。其中包括用于简单外部开关设备的反跳输入、USB（串行）、离散 PLC 接口（TTL）以及以太网或 Modbus 通信
从高强度固化到精密紫外线光刻曝光：光导和光学元件介绍
单点固化
使用光导，无其它光学元件
光出口处辐射最高
多点固化
一次同时进行多点固化
从不同方位辐射物品
小区域固化
宽度≥25mm
工作距离≥75mm
不均匀性≤10%
高密度固化
在规定的工作距离内，
聚焦点的强度最高
强度可达100000mW/cm2
准直曝光
光刻级准直度
准直角可到1°
基本参数信息
增强固化强度可达50000 mW/c㎡
潜在的波长组合和输出性能
* 发射器的中心波长（CWL）：367.5±2.5 nm、387.5±2.5 nm、 402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm
LED的初始输出: 光导（1.5 m长）末端测得的各发射器全光谱；可能有±10%的偏差
直径6.5毫米的导光板，带防反射涂层 (“AR”)
系统参数与规格
发射波长选择 | NUV Narroband：365 / 385 / 405 / 436 nm |
数值孔径 | NA 0.6 (2α ~70°) |
输出控制 | + 单个LED电源管理和预设 |
通信接口 | + 触摸显示屏 |
热管理 | 集成式热电冷却系统 |
尺寸 (W H D) | 14.5 × 16.5 × 34 cm (5.7 × 6.5 × 13.4″) |
重量 | 6 kg (13.2 lbs) |
电源供应 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 350 W |
光导选择 | + 液态光导和光纤 |
技术文章
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ALE/3 光纤耦合紫外点光源
高精度和可靠性应用的首选
功率输出水平可以达到或超过使用传统 200 W 汞放电灯
ALE/1 光纤耦合紫外点光源
灵活且功能最强大的即用型 LED 点光源
结合了汞放电灯的辐射功率和光谱特性，可实现高达 30W 的光输出
ALE/1C — UV-LED曝光系统
适用高性能工业UV曝光的强力聚光光源
采用 UV-LED 技术、具有出色的
输出稳定性和灵活的光谱控制
ALE/2 大基板UV-LED曝光系统
高性能 UV 光源
适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基板工业泛光曝光工具
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