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友思特 ALE 3 光纤耦合UVLED

要求精度和可靠性的UV固化、光刻曝光、高功率工业紫外应用的首选

友思特ALE 3 光纤耦合UVLED

友思特光纤耦合UVLED光源ALE/3，是要求精度和可靠性的UV固化、光刻曝光、高功率工业紫外应用的首选，其功率输出水平可以达到或超过使用传统 200 W 汞放电灯或市面上流行 UV 光固化装置的规格。

ALE/3与久经考验的高透射率 LED 液态光导和具有匀光、聚焦效果的聚光镜相连，可在各种工业、实验室环境的设置中灵活地将窄带或宽带紫外线辐射准确地传送到需要的位置。

高达15 W的光学输出
LED工业稳定性和TCO优势
i, g, h 线UV窄带、宽带输出
无汞，环保安全的LED光源
易于集成到新的和现有设置中
可自主更换LED模块
零维护热电冷却

晶圆光刻曝光

在半导体制造中，晶圆光刻曝光是一个关键步骤。
光纤耦合UVLED通过将紫外光束精准地投射到涂有光刻胶的晶圆表面，
形成所需的微细图案。

UVLED光源的高精度和稳定性使得这种曝光过程能够在

极小的尺度上实现精确控制，从而提高芯片制造的良率和效率

工业紫外固化

工业紫外固化利用光纤耦合UVLED提供的高强度紫外光

来快速固化涂层、胶水或其他材料。

这种方法的优势在于UVLED能够提供稳定且可控的光源，

使得固化过程快速且均匀，减少了能源消耗和生产时间，

同时提高了产品的质量和一致性

晶圆缺陷检测

在晶圆缺陷检测中，光纤耦合UVLED被用来照射晶圆表面，

以便检测微小的缺陷和不均匀性。

通过高分辨率的紫外成像技术，可以清晰地识别出晶圆表面的瑕疵，

这对于提高半导体产品的质量和可靠性至关重要

高功率紫外成像

高功率紫外成像利用光纤耦合UVLED提供的高强度紫外光来获取高分辨率的图像。

这种技术广泛应用于需要高清晰度成像的领域，如半导体检测、生物医学成像等。

UVLED的高功率输出和稳定性使其能够提供清晰的图像，帮助分析复杂的微观结构

产品优势特点

集成解决方案

晶圆边缘曝光紫外UVLED光源方案

基于友思特环保型 ALE/1和 ALE/3 UV LED光源，提高电子元器件制造的精确度，提供>95%的均匀性，确保每一次曝光都精准同步，为晶圆制造带来更高的精确度和质量保障。

半导体光刻光源解决方案

友思特 UVLED 紫外光源提供稳定且超高功率的UV辐射输出，具有单峰或双峰波长输出配置，最高输出功率可达 80 W，具有长寿命和成本优势，即开即用，取代了传统的灯箱结构，高效改造紫外光刻设备。

基于多通道高功率UVLED点光源的高效固化

友思特高功率UV-LED系列光源采用高透光率的光导设计，能够高效地将光线精准传递至目标位置，实现高效的整体固化效果。系统配备小型光学聚光元件，确保光线的准直和均匀性，满足精密固化需求。

宽度UV固化

仅使用单波长UV进行固化的缺点是感光材料表面上的固化速度太快，可能会阻止辐射进一步传播到粘合层中，并阻止完全固化。
更长波长的紫外线渗透到紫外线粘合剂中更深，但无粘性表面通常需要365 nm左右的强辐射。
为了产生完全固化的粘合层和完美的表面，您可以使用多种波长的固化模式，在较高波段进行曝光，然后在高强度较低波段完成固化。

低维护 UV-LED 聚光灯解决方案

友思特ALE/3 系统是超紧凑的光导耦合 LED 光源、易于设置和操作，几乎不需要维护。
创新的内部热电热管理使安装的大功率 LED 模块保持凉爽、从而最大限度地延长使用寿命。ALE/3 LED 模块可现场更换，无需工具即可快速更换。友思特ALE/3 光引擎带有用于系统设置的直观触摸显示屏、并支持各种标准界面来操作设备。其中包括用于简单外部开关设备的反跳输入、USB（串行）、离散 PLC 接口（TTL）以及以太网或 Modbus 通信

从高强度固化到精密紫外线光刻曝光：光导和光学元件介绍

基本参数信息

增强固化强度可达50000 mW/c㎡
潜在的波长组合和输出性能

* 发射器的中心波长（CWL）：367.5±2.5 nm、387.5±2.5 nm、 402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm
LED的初始输出: 光导（1.5 m长）末端测得的各发射器全光谱；可能有±10%的偏差
直径6.5毫米的导光板，带防反射涂层 (“AR”)

系统参数与规格

发射波长选择	NUV Narroband：365 / 385 / 405 / 436 nm NUV Broadband：365 – 405 nm VIS Narroband：470 / 520 / 620 / 660 / 690 nm NIR Narroband：730 / 770 / 810 / 850 / 970 / 1,050 nm
数值孔径	NA 0.6 (2α ~70°)
输出控制	+ 单个LED电源管理和预设 + 高分辨率强度调整（10-100%） + LED上升时间小于1毫秒
通信接口	+ 触摸显示屏 + 离散PLC接口（TTL） + AUX + USB + 以太网/Modbus（可选）
热管理	集成式热电冷却系统
尺寸 (W H D)	14.5 × 16.5 × 34 cm (5.7 × 6.5 × 13.4″)
重量	6 kg (13.2 lbs)
电源供应	110-240 VAC / 50-60 Hz / 350 W
光导选择	+ 液态光导和光纤 + 源核Ø[mm]：5.0、6.5和8.0 + 单极或多极选择 + 标准长度1.5 m；根据要求提供定制尺寸（0.5-20 m） + 根据要求提供定制终端配件