高功率大基板曝光光源
高效 | 先进 | 快捷 | 方便 | 一流
先进曝光系统VST ALE 1C
高达 80W 紫外输出
先进曝光系统VST ALE 2
高达 50W 紫外输出
全功率输出性能
友思特曝光光源系列产品在单光谱和多光谱配置中提供高功率性能。
高功率的紫外输出能完美替代传统的、有害的超高功率汞灯,降低使用成本和维修频率,增加工作吞吐量。
多波段选择输出
单波段输出
多波段输出
友思特曝光光源系列产品精确地提供最适合您的UV固化应用的光谱成分,提供与汞放电灯相似的光谱输出,将原有光刻工艺升级到 UVLED 曝光时能够最大化地减少调整步骤。
可选高性能光学配件
易于设备集成
友思特曝光光源系列产品遵从分布式设计,即光源系统和控制系统相分离,以完美贴合原有的掩膜版设备,可以通过多种方式将原有传统灯箱结构进行升级,所有解决方案均可定制。
应用领域
紫外曝光
紫外固化
高功率UVLED应用
解决方案
友思特提供用于光刻领域的高功率紫外光源解决方案,利用高功率紫外UVLED光源与准直直泛光曝光光学器件相结合,将传统掩模对准器灯箱升级到多功能和灵活的UVLED技术,为改造传统的紫外线曝光生产工具或设计新的工具提供新便利。