高功率大基板曝光光源

高效 | 先进 | 快捷 | 方便 | 一流

全功率输出性能

友思特曝光光源系列产品在单光谱和多光谱配置中提供高功率性能。

高功率的紫外输出能完美替代传统的、有害的超高功率汞灯，降低使用成本和维修频率，增加工作吞吐量。

多波段选择输出

友思特曝光光源系列产品精确地提供最适合您的UV固化应用的光谱成分，提供与汞放电灯相似的光谱输出，将原有光刻工艺升级到 UVLED 曝光时能够最大化地减少调整步骤。

可选高性能光学配件

易于设备集成

友思特曝光光源系列产品遵从分布式设计，即光源系统和控制系统相分离，以完美贴合原有的掩膜版设备，可以通过多种方式将原有传统灯箱结构进行升级，所有解决方案均可定制。

应用领域

紫外曝光

紫外固化

高功率UVLED应用

解决方案

友思特提供用于光刻领域的高功率紫外光源解决方案，利用高功率紫外UVLED光源与准直直泛光曝光光学器件相结合，将传统掩模对准器灯箱升级到多功能和灵活的UVLED技术，为改造传统的紫外线曝光生产工具或设计新的工具提供新便利。

半导体光刻光源解决方案

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