友思特产品 | 完美聚光:用于光刻曝光的UV-LED光引擎
LED替代汞灯在紫外光源中的使用已成为大势所趋。友思特先进的 UV-LED-EXP 系统可作为OEM集成、汞灯光刻设备改造或直接定制光路设计和曝光设备,为紫外光源的半导体光刻曝光过程提供近乎完美的光照质量。
LED替代汞灯在紫外光源中的使用已成为大势所趋。友思特先进的 UV-LED-EXP 系统可作为OEM集成、汞灯光刻设备改造或直接定制光路设计和曝光设备,为紫外光源的半导体光刻曝光过程提供近乎完美的光照质量。
本文介绍了紫外固化技术原理及友思特 UV – LED 曝光装置,该装置多波长设置,适用于多种紫外固化应用,在制药 / 医疗、汽车、电子产品等行业优势明显,具有强大输出、多波长定制、易集成、稳定性高、灵活性强等特点。
紫外光固化技术应用广,但传统光源存在缺点,而友思特开发多波段高功率 UV-LED 固化点光源,具多光谱输出、高功率高稳定性、高灵活性三大特色。在制药 / 医疗、汽车等行业有应用,满足固化需求,推动技术发展。
紫外光刻在半导体行业举足轻重。传统汞灯光源用于光刻设备有诸多弊端。友思特推出 ALE 1 和 ALE 3 UVLED 光源,优势明显。它们节能、寿命长且输出稳定,可定制适配设备,广泛应用于半导体领域,推动技术进步。
在半导体行业,紫外高功率辐射用于生产微观电路结构。友思特 UVLED 光源备受青睐,它输出功率高、稳定且寿命长,光谱多样可替代汞灯。广泛应用于多种掩模对准系统,还有升级方案。在宽带步进系统中表现出色,应用广泛。