高功率紫外光源 UVLED光源

在半导体工艺中具备上万小时长期稳定输出的工作寿命与极佳均匀性

友思特提供高功率、多波段UVLED光纤耦合光源、准直平行光源产品及透过率的紫外液态光导和准直光学元件,具有365-435nm单波段/多波段波长选择、高达80W光功率输出、上万小时工作寿命、绿色环保无汞、可靠的工作稳定性等关键优势,能够轻松升级替换汞灯光源和低功率的UVLED光源。产品为各波长设反馈控制,曝光强度不受 LED 温度和时长影响,且全寿命周期内参数稳定、均匀性不变,契合长期稳定输出需求,非常适合用于集成光刻曝光、工业固化、视觉检测、缺陷检测、精密光学制造等领域。

友思特 | 高功率紫外光源

Product Selection

产品选型

Core advantages

核心优势

Application scenarios

应用场景

Application case

客户实例

Technical Resources

技术资源

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为什么选择友思特高功率UVLED紫外光源?

——在半导体工艺中升级替代汞灯与矩阵型LED

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更长的寿命:内置高功率 LED 芯片,采用先进的TEC散热技术与优化的驱动电路设计,大幅降低芯片工作温度,有效减少光衰,使用寿命可达上万小时

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自由的波长选择:提供 365,385,405和435nm单波段 / 多波段波长选择,满足不同应用场景对特定波长的需求,精准匹配最适宜的波长,提升工作效果与精度

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针对每个单一波长都配备反馈控制系统:无论 LED 处于何种温度状态,也不管曝光时间长短,每次曝光的强度都能始终保持一致

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高功率输出:具备高达 80W 光功率输出,远超普通低功率 UVLED 光源,强大的光能量可快速、高效地完成如工业固化这类需要高能量输入的工作

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更低的维修成本:绿色环保无汞,避免了因汞污染带来的额外处理成本与环保风险;先进的模块化设计和工作稳定性使得设备维护便捷、降低设备故障率,降低整体维修成本

ALE1 紫外点光源

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30W高功率输出,光路中组合多达5个高性能 LED(365-435nm),实现光谱组成的高度灵活性,结合闭环控制输出系统,实现精准稳定的无汞光固化解决方案

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适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源,模块化设计无需外置冷却,即插即用兼容新旧设备,具有LED工艺稳定性和TCO优势,易于集成

ALE3 紫外点光源

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高达15W光输出,支持多种波长固化模式,可选单波长和双波长设置(365-435nm),完美替代200W汞灯

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具备LED工业稳定性和TCO优势,易于集成到新的和现有设置中

SUPERLITE I06

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无白光的纯紫外光,两个LED模块,用于紫外光和白光,强度水平均可数字独立控制,关闭设备时保存设置,操作直观可见

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七个可更换适配器,可与不同制造商生产的最常见光导匹配。友思特提供各种长度/横截面的液体光导,且光出口处配有内窥镜连接器或90°反射镜附件

SUPERLITE I07

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同类中第一款可提供大型放电灯性能LED光源,还可修改为其他光谱、无需大量开发;有效提高生产速度与可靠性,且灯泡寿命延长十倍

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近光角 60°,远距离也可保证高功率密度;无机械快门,曝光时间和处理时间极短,可在超高强度下发出规律、均匀的光,特别适用于多极导光束

ALE 1C 紫外曝光系统

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最多可组合3个UV-LED发射器,提供 350-450 nm 范围内的窄带和宽带紫外辐射输出。总输出功率高达 40 W ,搭配外部冷却器时输出功率高达 50 W,完全可替代高功率汞灯

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分布式设计,由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成,结构非常紧凑,适用于工业集成

ALE 2 紫外曝光系统

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提供350-450nm范围内的窄带和宽带紫外辐射输出;窄带输出功率高达 70W ,宽带输出功率高达 80W ,完全替代高功率放电汞灯

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分布式设计,由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成,结构非常紧凑,适用于工业集成

idonus UV-EXP系列曝光系统

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专为最严格的光照质量需求而设计,具有高功率UVLED光源、优质光均化器和远心光学系统,波长365nm,385nm,395nm,405nm,435nm,可用于曝光面积4",6",8",12"

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适合作为一个独立的桌面设备,为您的基板或集成到您的系统中提供充足的工作空间

SUPERLITE I04

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高质量滤光片提供无白光的纯净紫外线,便捷开关操作从紫外到白光的无眩光过渡,使极小的缺陷清晰可见

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紧凑而安静,FPI (荧光渗透检查) 的首选,广泛用于航空航天、能源行业,适用于所有工业内窥镜应用

SUPERLITE I05

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特别提供受控的 UV 光输出,可以选择低至 320 nm 以下的短波光谱,满足所有光固化胶粘剂的要求

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曝光时间小于0.2 秒。通过永久控制光输出和监控快门速度,系统确保了高过程可靠性,是小批量生产的最优选择

SUPERLITE I05(UVC)

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适用于所有工业粘合剂的紫外线,深紫外光谱,可根据需要降至 UVC 范围

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曝光时间小于0.2 秒。通过永久控制光输出和监控快门速度,系统确保了高过程可靠性,是小批量生产的最优选择

液态光导 / 液体光导

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大孔径开口管,使用所有可用空间传输具有全反射率的光,是需要均匀、高强度光应用的完美解决方案

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由带有液体芯的聚合物管组成,灵活且牢不可破,是硅胶纤维束的完美替代品

UV-LED 高性能聚光元件

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可用于正方形/矩形/六边形曝光,可增加出光均匀性

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大面积聚光元件,附件透镜系统,专为大型设备量身定制

紫外固化方案

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高透过率紫外液态光导,365+385+405+435多通道紫外光,光源+单极/多级的光导

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0.5m-20m长度,灵活操作空间,可集成机械臂

紫外聚光方案

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光源+单极光导+高透过光学元件,365+385+405+435多通道紫外光

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提高光线均匀性,减少杂散光比例,减小发散角 ,适合中小面积固化、曝光 50*50mm,最大可实现万级别mW/cm2

紫外曝光方案

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光源+光导+光学元件+准直透镜,多通道紫外平行光源

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中小面积曝光 4-8”

产品组成与核心优势

Product component and core advantages

紫外光源

超高功率紫外UVLED光源,多波段UV自由选择,上万小时工作寿命

准直平行镜头

自主设计平行镜头,提高光源均匀性和平行度,确保平行光源的准直和后续曝光的分辨率

光导

全反射液态光导,远超于传统玻璃光纤的透过率,减少紫外传输损失

集成式设计

光源控制器和发射器分布式设计,减少必须的空间需求,易于工业化集成和各种改造

应用场景

Application scenarios

友思特 | UVLED紫外光源

  • 更长的寿命
  • 自由的波长选择
  • 高功率输出
  • 更低的维修成本
  • 针对每个单一波长都配备反馈控制系统

半导体行业

晶圆光刻曝光、接触式曝光、芯片紫外负载检测、晶圆缺陷检测、晶圆边缘曝光等

太阳能光伏制造

太阳能光伏基板曝光、光致发光检测、固化封装等

精密光学检测

精密光学镜片制造、光学镜片质量检测、光学元件晶圆级粘接、干涉检测等

新能源电池行业

电池封装固化、表面处理、荧光无损检测、缺陷检测等

客户实例

Application case

0 cm +

固化深度大于

0 W/cm²

曝光强度

0 % -

减少曝光时间

电子元器件固化

项目需求:

  • 对结构紧凑、边界缝隙窄且敏感的电子元器件进行固化封装。
  • 要求固化深度大于3.5cm,且不能对器件造成长时间强光损伤。
  • 需要提高大批量生产线的固化效率,同时满足严格的质量标准。

解决方案:

  • 使用高功率UV-LED点光源,从侧面照射,能够完全穿透深层涂层材料,实现分阶段固化,确保完美表面
  • 提供多极光导输出,可达4出口,超高功率输出,在毫秒级完成单次固化任务
  • 配备柔性光导,支持超远距离适配机械臂、机械抓手,并通过光源远程控制系统实现全程自动化
  • 固化深度:>3.5cm,曝光强度:25W/cm²,缩短固化时间:减少60%曝光时间

友思特 UVLED紫外光源 的更多合作伙伴与客户:

0 μm +

增加边缘锐度

0 W/cm²

曝光强度

0 % -

减少曝光时间

晶圆边缘曝光

项目需求:

  • 在晶圆制造过程中,需要去除因离心力和表面张力导致的晶圆边缘较厚的光刻胶,避免晶圆边缘剥落造成颗粒污染。
  • 要求固化深度大于3.5cm,且不能对器件造成长时间强光损伤。

解决方案:

  • 采用特定设备旋转晶圆并精确控制光斑的边缘曝光工艺,使用高功率UV光源进行曝光。
  • 提供30um边缘锐度和25w/cm²曝光强度,有效减少60%曝光时间,增加产量。

友思特 UVLED紫外光源 的更多合作伙伴与客户:

0 mW/cm²

i-line光强达

0 mW/cm²

宽带光强达

0 ±2.3

均匀度

掩膜版曝光

项目需求:

  • 在MEMS、化合物半导体、功率器件和微流体的后端光刻技术中,需要生产制造集成微结构。
  • 需要高均匀度、高分辨率的掩模板曝光光源或步进式曝光光源,以取代传统汞弧灯。

解决方案:

  • 提供高功率UV-LED光源,支持6英寸、8英寸、12英寸晶圆,i-line光强达100mW/cm2,宽带光强达100mW/cm²。
  • 准直半角约1.3°FWHM,均匀度±2.3%,能够实现高精度曝光。

友思特 UVLED紫外光源 的更多合作伙伴与客户:

0 W +

光输出功率大于

0 nm

UV光源

0 50mm*50mm -

单次检测面积

晶圆缺陷检测

项目需求:

  • 在半导体生产过程中,需要检测晶圆表面的细微、表层缺陷
  • 常规检测手段(白光检测、红外检测、显微检测)存在缺陷数据丢失、无法检出浅表层缺陷等问题

项目需求:

  • 使用>13W的405nm UV光源,提供>50mm×50mm的单次检测面积,能够完美检出第三代半导体的浅表层缺陷。
  • 弥补红光、白光检测范围的不足,支持灵活集成和操作,可选配AI视觉平台。

友思特 UVLED紫外光源 的更多合作伙伴与客户:

技术资源

Technical Resources

友思特专业技术支持,助您项目成功:

作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商,友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务,旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务,请联系我们!

测试服务

提供产品选型、样机灵活适配支持与付费测试验证服务,让技术可行性评估更高效

设备改造焕新

提供对原有光刻设备(不限于汞灯、其它UVLED)的UVLED改造升级和翻新服务,提高设备的可用性,实现设备生命周期延长与综合成本优化

方案定制与集成开发

根据您的需求打造精准匹配应用场景的创新紫外光源解决方案

产品培训

提供全生命周期的线上和线下的操作培训,助力快速掌握光源的使用操作与核心技术

【产品开箱】
高功率紫外平行UVLED光源方案,可自由选择多种紫外波段,行业高水平参数 
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【产品介绍】
高功率紫外UVLED光源ALE1,高达30W输出功率,输出稳定,使用寿命长
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【光电技术直播月】
紫外光源的光固化应用
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【产品介绍】
高功率紫外曝光UVLED方案,单波长功率可达15W以上,提供多种紫外波段的自由选择
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【产品介绍】
高功率紫外UVLED光源ALE3,紧凑、经济、升级替代200-300W汞灯
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【光电技术直播】
精密制程的光影贴合,半导体制造中的高功率紫外光源
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【产品安装教程】
高功率紫外UVLED光源ALE3,紧凑、经济、升级替代200-300W汞灯
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友思特ALE系列光源是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置,先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED,可输出或定制多个波长(365nm,385nm,405nm,435nm),最高可达到30W输出。LED模块易于更换,可灵活应对应用程序更改,易于集成到新的和现有设置中,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源

目前单模和多模两种方式都可以实现,可以根据您的需求进行定制。

输出波长、输出功率、照射面积、均匀度、工作距离、工作角度

ALE3采用风冷结构,其余3个光源产品采用液体冷却结构。其中ALE 1C和ALE 2可以将冷却系统外置,提高功率输出

友思特Superlite I01可以将UV光精确地聚焦在粘合剂要固化的地方,体积小,使用更方便、更安全。高达2W的光输出,提供370 nm与405 nm 波长选择。 I01是一个强大的,高性价比的手动固化解决方案,固化粘合剂的首选专业光源,适用于各种精确点固化场景的固化光源。

友思特液体光导可以在-5-35℃的条件下进行工作,入光端最高温度可以在60℃,长期工作温度应保持在35℃以下。入光端如果需要更高温度,可以考虑需要较长的液态光导配件。

友思特 ALE UVLED 光源可适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影光刻机、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

光源的曝光面积最大可以达到300*300mm,可以根据您的具体需求进行定制,但是由于物理因素限制,只能做成正方形。

可以实现小面积准直曝光,但需要考虑聚光镜的通光孔径和被照射面积大小,由于发散角公式,准直曝光的面积不能无限小,有物理约束,ALE2 最小 200*200mm,ALE1C最小150*150mm。

准直度和均匀性取决于最终的聚光元件。一般来说,均匀性>95%,准直半角>1.5°。

友思特Superlite系列光源具有紧凑、安静以及非常强大的设计。基于LED设计,在同类产品中具有最高的紫外线性能,实现光谱之间的快速转换,寿命是传统灯的两倍。提供强大的紫外线和白色光源,是FPI(荧光渗透检查)的首选,为工业内窥镜应用制定了标准光源

两级、三级和四级光导的参数符合单根光导的技术参数,可以参照对应,输出口有效芯径为3mm,输入口有效芯径可以选择5mm、6.5mm和Φ8mm,外形尺寸一致。

立刻咨询/购买紫外光源产品

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选型与测试:
提供样机支持和付费硬件测试服务,验证光源在系统中的可行性

设备改造:
提供对原有光刻设备的UVLED改造升级翻新服务,提高设备可用性

产品培训
提供线上和线下的操作培训,快速掌握光源的使用操作

集成开发:
根据您的需求制定全新的光源方案

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