友思特应用

用于低成本改造光刻设备的UV紫外光源

前言导读

紫外光刻在半导体行业至关重要,传统汞灯光源用于光刻设备存在输出光谱宽、有害及寿命短等问题。UVLED 优势显著,友思特 ALE 1 和 ALE 3 UVLED 光源应运而生。ALE 1 是将传统掩模对准器灯箱升级到 UV - LED 技术的经济实惠选择,具备节能、寿命长、输出稳定、控制灵活、散热少、安全等优点,还可定制光导适配设备,其先进光引擎可多波长输出,适用于半导体制造等多领域。ALE 3 同样是无汞高输出光源,有不同光谱设置,在半导体制造及质量保证等领域应用广泛,这些光源为研究实验室及相关产业带来诸多益处,推动技术进步。

紫外光刻和曝光是半导体行业生产各种高端芯片、微观电路结构的核心技术。在紫外光刻过程中,光源发射的紫外线通过掩模上的微小透镜或光栅,然后投射到光刻胶层上,形成所需的微细图案。

长期以来,半导体制造领域使用传统大功率汞灯技术用于光刻设备的紫外光源。这种光源虽然输出功率高,但输出光谱范围宽,制造和生产过程中会产生对环境有害的物质,并且工作寿命短,更换周期频繁。


UVLED具有独特的技术优势和成本优势,能够输出稳定且超高功率的UV辐射,并保证长时间和长工作寿命,为半导体制造领域提供了一种理想解决方案。

基于UVLED的独特优势,越来越多的研究实验室使用UVLED光源代替传统汞灯灯箱。但设备的更新换代并不是简单的“钥匙开门”过程,需要考虑更换成本、设备体积以及设备兼容性,更关键的是保证效果稳定。

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友思特ALE 1用于改造光刻设备的优异性

友思特高功率紫外光源ALE 1 UVLED光源准直直泛光曝光光学器件相结合,不仅是将传统掩模对准器灯箱升级到UV-LED技术的多功能和灵活的选择,也是一种经济实惠的解决方案,对学术界和工业界的小型研究实验室具有吸引力。

  • 能量效率:友思特ALE 1紫外光源比传统汞灯使用更少的能源。从长远来看,这不仅有助于降低能源支出,而且使UV LED成为希望减少碳足迹的实验室的更环保的选择。
  • 更长的使用寿命:友思特ALE 1紫外光源比传统汞灯具有更长的使用寿命,这意味着它们需要更少的更换和维护频率,从而为实验室节省成本。
  • 稳定输出:友思特ALE 1紫外光源可随着时间的推移提供一致的紫外线输出,无需调整灯泡强度或频繁更换灯泡。这确保了实验中更高的一致性和准确性,并降低了由于不均匀照明而导致的错误风险。
  • 灵活的传输控制:友思特ALE 1紫外光源完美地集成到现代研究实验室设置中。完全可调的输出光谱和最先进的控制接口为高级曝光实验开辟了可能性,并使其易于收集数据和分析结果。
  • 减少热量:友思特ALE 1紫外光源比传统汞灯散发的热量更少, 这对于对温度变化敏感的实验是有益的。
  • 更安全的使用环境:友思特ALE 1紫外光源是研究实验室比传统汞灯更安全的选择,因为它们不含汞。汞是一种有毒物质,可能对人体健康和环境有害,在传统灯具中使用汞会带来潜在的暴露风险。
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利用UVLED进行光刻设备的升级

标准/定制的高透射率液体LED光导可用于连接光源和曝光,可以自由选择最适合的方法,几乎可以将光源和曝光光学器件放置任何位置。所有解决方案均可定制,以完美贴合原有设备。

大面积聚光元件集成方式

透镜组集成方式

改用友思特ALE 1紫外光源作为曝光光源为研究实验室提供了许多好处。它们不仅更节能,使用寿命更长,而且还提供一致的紫外线输出,散发更少的热量,并且对研究人员来说更安全。凭借与数字技术集成的能力,友思特ALE 1紫外光源正成为希望与最新技术进步保持同步的研究实验室的首选。
 
如果您对适用于您的面罩对准器的经济实惠的 UVLED解决方案感兴趣,请与我们联系。我们将确保更换件与您的特定掩模矫正器型号兼容,并符合必要的性能规格。
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友思特高功率紫外光源

友思特ALE/1

友思特ALE/1是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置,先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED,可输出或定制多个波长(365nm,385nm,405nm,435nm),最高可达到30W输出。LED模块易于更换,可灵活应对应用程序更改,易于集成到新的和现有设置中,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源
 
友思特ALE/1 UVLED光源可适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影光刻机、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

友思特ALE/3

友思特ALE/3光源是代替以往的水银灯的高输出LED紫外线光源装置,可内置2种LED,可选择单光谱设置(365、385、405或435nm)和多光谱设置(365和405nm),高达15 W光输出,是粘合剂硬化及半导体晶片的周边曝光等应用中有效光源方案,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源。

 
友思特ALE/3 UVLED光源是替代汞灯的完美解决方案,适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影光刻机、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

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友思特 方案产品套装介绍

ALE / 1 紫外点光源

可提供高达 30W 光输出,光强度最高可达 95,000 mW/cm²,采用模块化平台概念,ALE/1 能够在光路中组合多达5个高性能 LED,实现了光谱组成的高度灵活性和定制化。可用于高功率紫外固化、晶圆边界曝光、无损检测应用。

ALE / 3 紫外点光源

提供多种波长的固化模式,在较高波段进行曝光,并在高强度较低波段完成固化。兼具高功率与稳定性,可提供高达 15W 光输出,具备LED工业稳定性和TCO优势,易于集成到新的和现有设置中,可在UV固化应用中完美替代200W汞灯

ALE / 2 紫外曝光系统

友思特 ALE 2 紫外曝光光源提供非常大的曝光效率和性能:350-450nm范围内的窄带和宽带紫外辐射输出;窄带输出功率高达 70W ,宽带输出功率高达 80W 。系统遵循分布式设计方法,结构紧凑,适合于工业集成,可应用于掩模对准器、大基板光刻工具、高均匀精度曝光等。

ALE / 1C 紫外曝光系统

友思特 ALE 1C 紫外曝光光源具有替代高功率汞灯的输出性能:最多可组合3个UV-LED发射器,提供 350-450 nm 范围内的窄带和宽带紫外辐射输出。总输出功率高达 40 W ,搭配外部冷却器时输出功率高达 50 W。系统遵循分布式设计方法,结构紧凑,适合于工业集成。