紫外光源技术全解析 技术课程

工业精密制造的“隐形光探”

免费技术解读课程:紫外光源的基础知识、紫外光源的应用技术与工艺揭秘

升级付费应用指南课程:紫外光刻光源系统的设计、传统汞灯光刻设备改造为UVLED光路

紫外光源技术全解析技术课程

Course content

课程内容

Techinical comparison

技术对比

Product introduction

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技术课程视频内容

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假如光电工程师说真话!
差价百倍的紫外汞灯 vs 高功率UVLED光源,
区别在哪里?

(二)紫外光源的发展历史和性能对比

1. 紫外光源类型的发展和迭代
2. 紫外光源性能对比
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(五)紫外光源与光刻曝光、半导体应用

1. 光刻原理介绍
2. 紫外光源晶圆缺陷检测必要性与方法解析、实例解读
3. 紫外光源晶圆边缘曝光必要性与方法解析、实例解读
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先导片 · 紫外光源怎么选?
紫外光源技术解析系列课程,
为您说透核心参数、选型指南与实战案例

(三)紫外光源的性能指标解读

波长、功率、发散角、光斑点线面、
均匀性、准直、光纤、光导输出
等指标解析
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(六)紫外光源其它常见工业应用技术介绍

1. 工业无损检测应用
2. 紫外光谱分析应用
3. 深紫外产品应用
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(一)光源与紫外光源通识认知

1. 光的基本参数介绍
2. 紫外光源的波段及特点介绍
3. 常见应用(固化、光谱分析、荧光、曝光)
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(四)工艺揭秘,紫外光源与紫外固化应用

1. 固化原理介绍
2. 不同固化方式的优劣势
3. 紫外固化的特性和应用案例
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(七)【付费课程】紫外光刻光源系统的设计

1. 大面积12寸平行光源的设计
2. 曝光面参数对光路设计的影响
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(八) 【付费课程】传统汞灯光刻设备改造为UVLED光路

1. 典型汞灯光刻设备
2. UVLED改造路线
(可联系工作人员付费定制个性化内容)

技术对比

Technical Comparison

为什么选择友思特高功率UVLED紫外光源?

——在半导体工艺中升级替代汞灯与矩阵型LED

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更长的寿命:内置高功率 LED 芯片,采用先进的TEC散热技术与优化的驱动电路设计,大幅降低芯片工作温度,有效减少光衰,使用寿命可达上万小时

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自由的波长选择:提供 365,385,405和435nm单波段 / 多波段波长选择,满足不同应用场景对特定波长的需求,精准匹配最适宜的波长,提升工作效果与精度

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针对每个单一波长都配备反馈控制系统:无论 LED 处于何种温度状态,也不管曝光时间长短,每次曝光的强度都能始终保持一致

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高功率输出:具备高达 80W 光功率输出,远超普通低功率 UVLED 光源,强大的光能量可快速、高效地完成如工业固化这类需要高能量输入的工作

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更低的维修成本:绿色环保无汞,避免了因汞污染带来的额外处理成本与环保风险;先进的模块化设计和工作稳定性使得设备维护便捷、降低设备故障率,降低整体维修成本

友思特 紫外光源产品介绍

Product introduction

ALE1 紫外点光源

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30W高功率输出,光路中组合多达5个高性能 LED(365-435nm),实现光谱组成的高度灵活性,结合闭环控制输出系统,实现精准稳定的无汞光固化解决方案

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适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源,模块化设计无需外置冷却,即插即用兼容新旧设备,具有LED工艺稳定性和TCO优势,易于集成

ALE3 紫外点光源

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高达15W光输出,支持多种波长固化模式,可选单波长和双波长设置(365-435nm),完美替代200W汞灯

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具备LED工业稳定性和TCO优势,易于集成到新的和现有设置中

SUPERLITE I06

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无白光的纯紫外光,两个LED模块,用于紫外光和白光,强度水平均可数字独立控制,关闭设备时保存设置,操作直观可见

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七个可更换适配器,可与不同制造商生产的最常见光导匹配。友思特提供各种长度/横截面的液体光导,且光出口处配有内窥镜连接器或90°反射镜附件

SUPERLITE I07

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同类中第一款可提供大型放电灯性能LED光源,还可修改为其他光谱、无需大量开发;有效提高生产速度与可靠性,且灯泡寿命延长十倍

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近光角 60°,远距离也可保证高功率密度;无机械快门,曝光时间和处理时间极短,可在超高强度下发出规律、均匀的光,特别适用于多极导光束

ALE 1C 紫外曝光系统

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最多可组合3个UV-LED发射器,提供 350-450 nm 范围内的窄带和宽带紫外辐射输出。总输出功率高达 40 W ,搭配外部冷却器时输出功率高达 50 W,完全可替代高功率汞灯

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分布式设计,由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成,结构非常紧凑,适用于工业集成

ALE 2 紫外曝光系统

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提供350-450nm范围内的窄带和宽带紫外辐射输出;窄带输出功率高达 70W ,宽带输出功率高达 80W ,完全替代高功率放电汞灯

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分布式设计,由一个控制子系统 (CSS) 和一个或多个独立的曝光子系统 (ESS) 组成,结构非常紧凑,适用于工业集成

SUPERLITE I04

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高质量滤光片提供无白光的纯净紫外线,便捷开关操作从紫外到白光的无眩光过渡,使极小的缺陷清晰可见

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紧凑而安静,FPI (荧光渗透检查) 的首选,广泛用于航空航天、能源行业,适用于所有工业内窥镜应用

SUPERLITE I05

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特别提供受控的 UV 光输出,可以选择低至 320 nm 以下的短波光谱,满足所有光固化胶粘剂的要求

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曝光时间小于0.2 秒。通过永久控制光输出和监控快门速度,系统确保了高过程可靠性,是小批量生产的最优选择

SUPERLITE I05(UVC)

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适用于所有工业粘合剂的紫外线,深紫外光谱,可根据需要降至 UVC 范围

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曝光时间小于0.2 秒。通过永久控制光输出和监控快门速度,系统确保了高过程可靠性,是小批量生产的最优选择

液态光导 / 液体光导

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大孔径开口管,使用所有可用空间传输具有全反射率的光,是需要均匀、高强度光应用的完美解决方案

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由带有液体芯的聚合物管组成,灵活且牢不可破,是硅胶纤维束的完美替代品

UV-LED 高性能聚光元件

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可用于正方形/矩形/六边形曝光,可增加出光均匀性

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大面积聚光元件,附件透镜系统,专为大型设备量身定制

紫外固化方案

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高透过率紫外液态光导,365+385+405+435多通道紫外光,光源+单极/多级的光导

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0.5m-20m长度,灵活操作空间,可集成机械臂

紫外聚光方案

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光源+单极光导+高透过光学元件,365+385+405+435多通道紫外光

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提高光线均匀性,减少杂散光比例,减小发散角 ,适合中小面积固化、曝光 50*50mm,最大可实现万级别mW/cm2

紫外曝光方案

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光源+光导+光学元件+准直透镜,多通道紫外平行光源

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中小面积曝光 4-8”

免费技术课程

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紫外光源的基础知识: 光源与紫外光源的通识认知;紫外光源的发展历史和性能对比;紫外光源的性能指标解读

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紫外光源的应用技术: 工艺揭秘,紫外光源与紫外固化应用;紫外光源与光刻曝光、半导体应用;紫外光源的其它常见工业应用技术介绍

付费升级技术课程

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紫外光刻光源系统的设计:大面积12寸平行光源的设计; 曝光面参数对光路设计的影响

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传统汞灯光刻设备改造为UVLED光路:典型汞灯光刻设备、 UVLED改造路线

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可根据项目需求

更多技术资源与技术服务介绍

Technical Resources

友思特专业技术支持,助您项目成功:

作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商,友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务,旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务,请联系我们!

测试服务

提供产品选型、样机灵活适配支持与付费测试验证服务,让技术可行性评估更高效

设备改造焕新

提供对原有光刻设备(不限于汞灯、其它UVLED)的UVLED改造升级和翻新服务,提高设备的可用性,实现设备生命周期延长与综合成本优化

方案定制与集成开发

根据您的需求打造精准匹配应用场景的创新紫外光源解决方案

产品培训

提供全生命周期的线上和线下的操作培训,助力快速掌握光源的使用操作与核心技术

【产品开箱】
高功率紫外平行UVLED光源方案,可自由选择多种紫外波段,行业高水平参数 
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【产品介绍】
高功率紫外UVLED光源ALE1,高达30W输出功率,输出稳定,使用寿命长
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紫外光源的光固化应用
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【产品介绍】
高功率紫外曝光UVLED方案,单波长功率可达15W以上,提供多种紫外波段的自由选择
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【产品介绍】
高功率紫外UVLED光源ALE3,紧凑、经济、升级替代200-300W汞灯
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【光电技术直播】
精密制程的光影贴合,半导体制造中的高功率紫外光源
(点击跳转可查看更高清视频)

【产品安装教程】
高功率紫外UVLED光源ALE3,紧凑、经济、升级替代200-300W汞灯
(点击跳转可查看更高清视频)

友思特ALE系列光源是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置,先进的UVLED光引擎最多可内置5种LED,可输出或定制多个波长(365nm,385nm,405nm,435nm),最高可达到30W输出。LED模块易于更换,可灵活应对应用程序更改,易于集成到新的和现有设置中,是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源

目前单模和多模两种方式都可以实现,可以根据您的需求进行定制。

输出波长、输出功率、照射面积、均匀度、工作距离、工作角度

ALE3采用风冷结构,其余3个光源产品采用液体冷却结构。其中ALE 1C和ALE 2可以将冷却系统外置,提高功率输出

友思特Superlite I01可以将UV光精确地聚焦在粘合剂要固化的地方,体积小,使用更方便、更安全。高达2W的光输出,提供370 nm与405 nm 波长选择。 I01是一个强大的,高性价比的手动固化解决方案,固化粘合剂的首选专业光源,适用于各种精确点固化场景的固化光源。

友思特液体光导可以在-5-35℃的条件下进行工作,入光端最高温度可以在60℃,长期工作温度应保持在35℃以下。入光端如果需要更高温度,可以考虑需要较长的液态光导配件。

友思特 ALE UVLED 光源可适用于半导体制造(曝光机、先进封装投影光刻机、晶圆边缘曝光、光掩模检查等)、质量保证和检查(NDT),在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

光源的曝光面积最大可以达到300*300mm,可以根据您的具体需求进行定制,但是由于物理因素限制,只能做成正方形。

可以实现小面积准直曝光,但需要考虑聚光镜的通光孔径和被照射面积大小,由于发散角公式,准直曝光的面积不能无限小,有物理约束,ALE2 最小 200*200mm,ALE1C最小150*150mm。

准直度和均匀性取决于最终的聚光元件。一般来说,均匀性>95%,准直半角>1.5°。

友思特Superlite系列光源具有紧凑、安静以及非常强大的设计。基于LED设计,在同类产品中具有最高的紫外线性能,实现光谱之间的快速转换,寿命是传统灯的两倍。提供强大的紫外线和白色光源,是FPI(荧光渗透检查)的首选,为工业内窥镜应用制定了标准光源

两级、三级和四级光导的参数符合单根光导的技术参数,可以参照对应,输出口有效芯径为3mm,输入口有效芯径可以选择5mm、6.5mm和Φ8mm,外形尺寸一致。

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选型与测试:
提供样机支持和付费硬件测试服务,验证光源在系统中的可行性

设备改造:
提供对原有光刻设备的UVLED改造升级翻新服务,提高设备可用性

产品培训
提供线上和线下的操作培训,快速掌握光源的使用操作

集成开发:
根据您的需求制定全新的光源方案

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