友思特高功率 UVLED 点光源采用集成结构，光谱可模块化，照射范围可改。其 ALE/1 最高 30W 输出，ALE/3 最高 15W 输出，应用广泛。

UVLED 光源优势显著，取代汞灯是趋势。友思特 ALE/1C 紫外光源可取代汞灯，分控制系统和曝光系统，适用于多种晶圆曝光场景，有高功率、无汞等亮点。

晶圆缺陷检测直接影响芯片的良率与成本。友思特高功率紫外UVLED方案通过多波长切换、高灵敏度成像，精准捕捉灰尘、遗留胶及内部划痕等缺陷，检测精度与效率显著提升，助力产业迈向更高精度与效率。

晶圆边缘曝光是帮助减少晶圆涂布过程中多余的光刻胶对电子器件影响的重要步骤。友思特 ALE/1 和 ALE/3 UV-LED 高性能点光源，作为唯一可用于宽带晶圆边缘曝光的 i、h 和 g 线的 LED 解决方案，可高效实现WEE系统设计和曝光需求。

为新能源锂电行业赋能第四站：半导体制造中的高功率紫外光源！稳定输出、灵活控制的曝光设备是新能源/半导体行业高端生产中减少误差、提高效率的核心技术，友思特 ALE 系列 UV LED 紫外光源集合6大优势，为精密制造的健康发展提供了全新的选择。

汇集多种优势特征于一体的平行紫外光源是半导体芯片制造中实现高精度、超准确曝光效果的关键。对比矩阵式LED光源，友思特ALE光源的光刻曝光效果展示出了优异的性能。

紫外固化的精密工艺满足了汽车、半导体、消费电子等领域的光学元件生产需求。在此基础上，友思特高功率紫外光源结合液态光导和多种准直元件，创新地开发了多点固化和聚光的低成本、大批量、高效率的固化曝光方案。

本文介绍了紫外固化技术原理及友思特 UV – LED 曝光装置，该装置多波长设置，适用于多种紫外固化应用，在制药 / 医疗、汽车、电子产品等行业优势明显，具有强大输出、多波长定制、易集成、稳定性高、灵活性强等特点。