友思特产品 | 完美聚光:用于光刻曝光的UV-LED光引擎
LED替代汞灯在紫外光源中的使用已成为大势所趋。友思特先进的 UV-LED-EXP 系统可作为OEM集成、汞灯光刻设备改造或直接定制光路设计和曝光设备,为紫外光源的半导体光刻曝光过程提供近乎完美的光照质量。
紫外ALE 3,ALE 1 光源与紫外滤光片套装
纯紫外光光线输出,可随时拔插和安装使用
内置的是高功率LED紫外芯片,具有宽带发射光谱,先进高效、方便快捷、一流性能,提供多种配置
覆盖半导体光刻 UV曝光、非破坏性质量保证与检查、粘合剂硬化等应用场景
(380nm滤光片为例的套装配置图)
(不同序列号的光源中心波长和带宽有微小差异)
友思特ALE 系列光源内置高功率LED紫外芯片,具有宽带发射光谱,其典型365nm光谱图如左图所示,中心波长365nm,FWHM 13nm。
由于LEDD宽带光谱的特性,ALE 1@365nm并不单单仅发射在365nm左右的光源,而是在350-400nm范围进行发光。此外,紫外部分的光是不会被人肉眼所观测到的,为安全考虑,也有极其微小一部分,大约0.1-1%的可见光。
对于大多数紫外光源应用,深紫外和极其微小比例的可见光并不会对最终的效果产生影响,如紫外曝光、紫外光刻、紫外相机等。但如果您的应用较为特殊,需要排除掉任何可能影响结果的光源因素,我们为您配置了滤光片套装,可选择375nm、380nm、390nm截止。
ALE1和ALE3 UV LED光源可用于半导体生产中的
掩模对准器和晶圆步进器,提供先进的UV曝光解决方案。
这些光源能够实现高精度的紫外固化,
适用于半导体晶片的周边曝光等工艺步骤。
在非破坏性检测领域,ALE1和ALE3光源可用于检测材料的表面和内部缺陷。
通过紫外光的照射,可以有效地检测出裂纹、气孔等微小缺陷,提高产品质量。
UV LED光源在粘合剂硬化方面有着广泛应用,
ALE1和ALE3光源能够提供高效、均匀的紫外光照射,促进粘合剂的快速固化。
如快速固化医用导管等医疗器械的UV胶水,保证对材料无损伤。
这些行业中的许多生产流程需要高精度的紫外光源,
ALE1和ALE3光源能够满足这些需求,例如在汽车电子元件的制造和检测中发挥作用。
以380nm滤光片为例,安装示意如下图所示,对应光谱如下图所示
(380nm截至滤光片光谱下的光源和紫外滤光片套装)
(380nm截止滤光片光谱)
LED替代汞灯在紫外光源中的使用已成为大势所趋。友思特先进的 UV-LED-EXP 系统可作为OEM集成、汞灯光刻设备改造或直接定制光路设计和曝光设备,为紫外光源的半导体光刻曝光过程提供近乎完美的光照质量。
本文介绍了紫外固化技术原理及友思特 UV – LED 曝光装置,该装置多波长设置,适用于多种紫外固化应用,在制药 / 医疗、汽车、电子产品等行业优势明显,具有强大输出、多波长定制、易集成、稳定性高、灵活性强等特点。
紫外光固化技术应用广,但传统光源存在缺点,而友思特开发多波段高功率 UV-LED 固化点光源,具多光谱输出、高功率高稳定性、高灵活性三大特色。在制药 / 医疗、汽车等行业有应用,满足固化需求,推动技术发展。
作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商,友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务,旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务,请联系我们!
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高精度和可靠性应用的首选
功率输出水平可以达到或超过使用传统 200 W 汞放电灯
灵活且功能最强大的即用型 LED 点光源
结合了汞放电灯的辐射功率和光谱特性,可实现高达 30W 的光输出
适用高性能工业UV曝光的强力聚光光源
采用 UV-LED 技术、具有出色的
输出稳定性和灵活的光谱控制
高性能 UV 光源
适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基板工业泛光曝光工具
信任来自日积月累的专业知识和丰富经验