硅片上的光影贴合：UV-LED曝光系统在晶圆边缘曝光中的高效应用
2025年4月7日
晶圆边缘曝光是帮助减少晶圆涂布过程中多余的光刻胶对电子器件影响的重要步骤。友思特 ALE/1 和 ALE/3 UV-LED 高性能点光源，作为唯一可用于宽带晶圆边缘曝光的 i、h 和 g 线的 LED 解决方案，可高效实现WEE系统设计和曝光需求。
紫外ALE 3，ALE 1 光源与紫外滤光片套装
纯紫外光光线输出，可随时拔插和安装使用
内置的是高功率LED紫外芯片，具有宽带发射光谱，先进高效、方便快捷、一流性能，提供多种配置
覆盖半导体光刻 UV曝光、非破坏性质量保证与检查、粘合剂硬化等应用场景
（380nm滤光片为例的套装配置图）
（不同序列号的光源中心波长和带宽有微小差异）
紫外ALE 3，ALE 1 光源与紫外滤光片套装
友思特ALE 系列光源内置高功率LED紫外芯片，具有宽带发射光谱，其典型365nm光谱图如左图所示，中心波长365nm，FWHM 13nm。
由于LEDD宽带光谱的特性，ALE 1@365nm并不单单仅发射在365nm左右的光源，而是在350-400nm范围进行发光。此外，紫外部分的光是不会被人肉眼所观测到的，为安全考虑，也有极其微小一部分，大约0.1-1%的可见光。
对于大多数紫外光源应用，深紫外和极其微小比例的可见光并不会对最终的效果产生影响，如紫外曝光、紫外光刻、紫外相机等。但如果您的应用较为特殊，需要排除掉任何可能影响结果的光源因素，我们为您配置了滤光片套装，可选择375nm、380nm、390nm截止。
安装示意及光谱图
以380nm滤光片为例，安装示意如下图所示，对应光谱如下图所示
（380nm截至滤光片光谱下的光源和紫外滤光片套装）
（380nm截止滤光片光谱）
技术文章
友思特技术 | ALE光刻曝光光源与常见矩阵式LED光源性能对比
2025年4月7日
汇集多种优势特征于一体的平行紫外光源是半导体芯片制造中实现高精度、超准确曝光效果的关键。对比矩阵式LED光源，友思特ALE光源的光刻曝光效果展示出了优异的性能。
友思特应用 | 光塑万千：精密工艺中的多点紫外固化方案
2025年4月7日
紫外固化的精密工艺满足了汽车、半导体、消费电子等领域的光学元件生产需求。在此基础上，友思特高功率紫外光源结合液态光导和多种准直元件，创新地开发了多点固化和聚光的低成本、大批量、高效率的固化曝光方案。
演示视频
（点击可跳转）
技术支持
友思特专业技术支持，助您项目成功
作为专注于机器视觉和光电检测解决方案的供应商，友思特也致力于为您提供一系列该产品相关的付费技术服务，旨在以最具成本效益的方式助力您的项目成功。如您需要该产品相关的技术服务，请联系我们！
测试服务
按需进行样品测试与效果评估验证
硬件培训
全方位覆盖硬件产品使用的各环节
软件培训
帮助您迅速掌握软件使用技巧
集成开发
根据您的需求制定完整集成解决方案
更多相关产品
更多一站式解决方案配套产品，提供全方位的项目保障
ALE/3 光纤耦合紫外点光源
高精度和可靠性应用的首选
功率输出水平可以达到或超过使用传统 200 W 汞放电灯
ALE/1 光纤耦合紫外点光源
灵活且功能最强大的即用型 LED 点光源
结合了汞放电灯的辐射功率和光谱特性，可实现高达 30W 的光输出
ALE/1C — UV-LED曝光系统
适用高性能工业UV曝光的强力聚光光源
采用 UV-LED 技术、具有出色的
输出稳定性和灵活的光谱控制
ALE/2 大基板UV-LED曝光系统
高性能 UV 光源
适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基板工业泛光曝光工具
友思特 合作伙伴和客户
信任来自日积月累的专业知识和丰富经验
