友思特应用 | 半导体制造工艺中的紫外光源解决方案
在半导体行业,紫外高功率辐射用于生产微观电路结构。友思特 UVLED 光源备受青睐,它输出功率高、稳定且寿命长,光谱多样可替代汞灯。广泛应用于多种掩模对准系统,还有升级方案。在宽带步进系统中表现出色,应用广泛。
在半导体行业,紫外高功率辐射用于生产微观电路结构。友思特 UVLED 光源备受青睐,它输出功率高、稳定且寿命长,光谱多样可替代汞灯。广泛应用于多种掩模对准系统,还有升级方案。在宽带步进系统中表现出色,应用广泛。
友思特 晶圆边缘曝光紫外UVLED光源方案 基于环保型 ALE/1和 ALE/3 UV LED光源,为晶圆制造带来更高的精确度和质量保障。该方案提供>95%的均匀性,确保每一次曝光都精准同步。功率强大,高达17W,且可以实现精确控制,长期保持稳定。配置灵活,提供单波长和混合波长选择,满足各类光刻胶需求。
友思特UVLED紫外 半导体光刻光源解决方案 提供稳定且超高功率的UV辐射输出,最高输出功率可达80W,具有长寿命和成本优势,无需额外冷却时间,即开即用,与准直直泛光曝光光学器件相结合,不仅是将传统掩模对准器灯箱升级到UV-LED技术的多功能和灵活的选择,满足汽车、电子、制药等不同固化材料、照射面积与应用场景的需求。