完美的光罩或光掩模是光刻应用高产量的重要原因。缺陷和污染会导致图案放置错误，这些错误会在生产基板上重复复制。光罩检测系统可帮助车间鉴定其光掩模和晶圆，通过降低印刷有缺陷的晶圆和其他基材风险来保障产量。

将友思特 UVLED 技术集成到用于大型光掩模的光罩检测系统，可评估进料光罩质量，并在生产过程中定期对标线进行重新认证。该方案具有三大优点：

• ALE/1 和 ALE/3 紫外点光源非常灵活，搭配高透射率 LED 光导可随时随地移动和定位机器中的光源。在一些现有装置中，这些光导长达 20m；
• 领先的 OLED FPD 带有更多的 TFT 晶体管以实现更高分辨率，因此高端光掩模必须有更小的特征尺寸。将辐射波长从可见光转换为近紫外光，可增强设备检测缺陷的能力。UVLED 光源在 350-450nm 光谱范围内拥有出色的性能；
• UVLED 具有出色的输出稳定性（短期&长期），可提高光罩检测结果的准确性和一致性。